Для создания слоев маски используются:

• Центрифуга. Перемешивает и подает на поверхность пластины фоторезист — чувствительный к свету материал. Затем производится нагрев пластины: лишний фоторезист испаряется, а оставшийся «прилипает» к поверхности пластины.